韩国DP-15高度探针的维护与保养

　　韩国DP-15高度探针包含下列步骤：上升升降载台至点测位置，升降载台上用以承载待测物。调整两个探针装置的两个探针，使两个探针接触待测物，并利用两个形变感应回路使两个探针装置的两个力臂上的两个感应元件根据两个力臂的变形量分别产生观测值，以分别提供两个探针目标值。使两个探针接触待测物时具有近似的目标值。因此利用本发明的探针高度调整方法可根据力臂的变形量提供探针目标值(针压克重)，作为调整探针高度的依据。因此探针高度调整方法能提升测量针压的准确度，且灵敏度高，可避免探针装置上的探针损坏待测物，减少探针磨耗。
 

　　韩国DP-15高度探针的维护与保养：
 

　　无论是全自动探针测试台还是自动探针测试台，X-y向工作台都是其最核心的部分。有数据表明探针测试台的故障中有半数以上是X-y工作台的故障，而工作台故障有许多是对其维护保养不当或盲目调整造成的，所以对工作台的维护与保养就显得尤为重要。本文仅对自动探针测试台x-y工作台的维护与保养作一介绍。
 

　　平面电机x-y步进工作台的维护与保养平面电机由定子和动子组成，它和传统的步进电机相比其特殊性就是将定子展开，定子是基础平台，动子和定子间有一层气垫，动子浮于气垫上，而可编程承片台则安装在动子之上。这种结构的x-y工作台，由于动子和定子间无相对摩擦故无磨损，使用寿命长。
 

　　而定子在加工过程中生产厂家根据不同的设计要求如分辨力等，用机加工的方法在一平面的铁制铸件上加工出若干个线槽，线槽间的距离即称为平面电机的齿距，而定子则按不同的细分控制方式，按编制好的运行程序借助于平面定子和动子之间的气垫才能实现步进运动。对定子的损伤将直接影响工作台的步进精度及设备使用寿命，损坏严重将造成设备无法使用而报废。